懸浮分子污染(AMC)4.1AMC的分類及控制要求情況AMC作為IC工廠所關心的問題于2年前先由日本人提出,近年來,IC生產園片直徑已達3mm,工藝加工尺寸(線寬)已小于.15m,在某些加工工序及工序間園片的傳送和存放環境中AMC已成為嚴重影響成品率的問題,已被清楚的認識到,AMC的控制已由談論轉到需要實施。對于IC生產,AMC分為D四類,即:A酸性物質,如Hcl等;B堿性物質,如NH3等;C沸點室溫能在光潔表面冷凝的物質,主要是碳氫化合物,某些工藝加工環境中的水蒸汽亦需要考慮;D摻雜物質,能為園片表面吸附或與表面相互反應的物質,如砷、硼、磷等。VB12濃縮液+淀粉兩種物料均為含固量約為5%的懸濁液,攪拌罐存放,不斷攪拌。塔進料選用泵輸送。kg/h水分蒸發量,出成品含水量淀粉的1%、碳酸鈣的4%。進料條件:5%固含量,通過蠕動泵等輸送至塔內,要求物料溫度65℃,瞬間加熱。設備安裝,主塔安裝在室外,出料進入室內三層貼臨的廠房內,出料口高度為+15m左右。設備加熱方式選用蒸汽(.6MPa飽和蒸汽),二級電加熱,進口溫度22℃,出口溫度8-9℃。
所屬分類:物資回收/銷毀
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