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如果圓柱體放在線圈,那么圓柱體周邊的溫度是一樣的,圓柱體加熱和熔化也沒有產生有害氣體、強光污染環境。中頻爐廣泛用于有色金屬的熔煉[主要用在熔煉鋼、合金鋼、特種鋼、鑄鐵等黑色金屬材料以及不銹鋼、鋅等有色金屬材料的熔煉,也可用于銅、鋁等有色金屬的熔煉和升溫,保溫,并能和高爐進行雙聯運行。]、
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DL-78型單晶爐的熱場和減壓工藝\1前言集成電路生產的發展一方面不斷縮小元件尺寸,以提高集成度;另一方面不斷擴大硅片直徑以減少芯片的離故度和降低成本。相應地,作為集成電路基礎材料的硅單晶生產也在不斷地提高其技術質量指標和增大單晶錠的直徑和長度,以滿足電路的要求和降低自身的生產成本。在國外市場上,硅晶體直徑大致每4~5年增長1時(25.4mm),相應地,生產投料重也由1公斤逐漸發展為3~5公斤、8~12公斤、15~劉公斤和朋~6O公廳等幾個等級。在這發展中,有兩個條件是相輔相成、共同進步的,這是單晶爐和拉晶工藝。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,工作原理如下:取出晶棒后,將硅料加入加料坩堝62,蓋上外部加料器6的上蓋63,將外部加料器6真空抽到合適壓力值時打開旋閥64,硅料落入外部化料器7中并在外部化料器7中被熔化,熔化后的硅料流入主爐室坩堝21,當外部化料器7中的硅料加完后,再關閉旋閥64,把外部加料器6充常壓,打開外部加料器6的上蓋63繼續加料,如此循環,進而完成外部加料、化料,本發明可實現連續拉晶,選用合適的主爐室坩堝21可以實現連續拉制五六根晶棒,可大幅減少冷卻、拆爐、裝爐的時間,進而提高生產效率;本發明可通過加料器升降驅動裝置和加料器旋轉驅動裝置將外部加料器6移出工作位并旋開,進而方便拆爐和清理,本發明的加料器升降驅動裝置和加料器旋轉驅動裝置配上工裝還可以吊裝主爐室2的零部件;本發明可通過副爐室升降驅動裝置12和副爐室旋轉驅動裝置13驅動副爐室3移動,
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