南通如東提拉式長晶爐回收 濾波柜回收現場報價
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單晶爐提拉速度控制系統的設計與分析1 引 言半導體材料是半導體工業的基礎材料 ,其中用量和用途廣泛的是半導體硅。當今 95%以上的半導體器件是用硅材料制造的 ,99%以上的集成電路是硅集成電路 ,生產集成電路所需要的單晶硅 ,是在硅結晶生長開始時 ,用提拉的辦法制成的。在單晶硅生產過程中 ,對晶體的提拉速度有十分嚴格的要求 ,從某種程度上講提拉速度的控制好壞將直接影響到晶體的質量。對單晶硅生產過程中的提拉速度控制系統進行研究有實際意義。圖 1示出了單晶爐提拉速度控制系統在單晶硅生產中的作用。提拉桿的運動是靠驅動電機通過減速器 ,再由齒輪齒條機構帶動的。在單晶爐中 ,要求提拉單晶硅的提拉桿不僅能以某一期望線速度 V向上 (下 )運動 ,而且當提拉負載增大引起線速度為零時 ,提拉桿能保持其后位置而不上下滑動。在實際單晶爐中 ,對提拉控制系統提出的主要技術指標是 ,提拉速度在 0 .2~ 1 0 .0 mm/h范圍之內實現無級可調 ,線性精度大于± 2 %藍寶石長晶爐回收,多晶硅鑄錠爐回收,提拉式長晶爐回收,多晶長晶爐回收,臥式長晶爐回收,拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,具體地,為了減小螺釘16的上端部與上減震橡膠墊172之間的壓強,進而延長上減震橡膠墊172的使用壽命,所述螺釘16的上端部和上減震橡膠墊172之間設置有墊片173。在本實施例中,所述螺釘16設置有四個,為了當不再繼續加料時,可以更方便地將外部化料器7提升不干涉主爐室坩堝21上升的位置,并方便外部化料器7的移動、拆解和清理,連續拉晶單晶爐還包括化料器升降驅動裝置和化料器旋臂18,所述底座1上設置有立柱10,所述化料器旋臂18鉸接在立柱10上,所述化料器升降驅動裝置連接在化料器旋臂18上,所述外部化料器7連接在化料器升降驅動裝置上,以便在不繼續加料時,通過化料器升降驅動裝置驅動外部化料器7上升不干涉主爐室坩堝21上升的位置;和化料器升降驅動裝置及外部化料器7隨化料器旋臂18一起轉動。
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