宿遷離子泵回收 宿遷多晶硅鑄錠爐回收
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提拉頭:主要由安裝盤 減速機 籽晶腔 劃線環 電機 磁流體 籽晶稱重頭 軟波紋管等其他部件組成\副室:主要是副室筒以及上下法蘭組成\ 爐蓋:副室連接法蘭,翻板閥,觀察窗 抽真空管道 組成\爐筒:包括取光孔\下爐筒:包括抽真空管道\底座機架:全鑄鐵機架和底座\坩堝下傳動裝置:主要由磁流體 電機 坩堝支撐軸 減速機 軟波紋管 立柱 上下傳動支撐架 導軌 等部件組成\分水器已經水路布置:包括分水器,進水水管,若干膠管 水管卡套等\管道布置:質量流量計 3根以上的柔性管 不銹鋼管 3個壓力探測器 高密封性卡套 等部件\ 真空泵以及真空除塵裝置:油壓真空泵 水環真空泵 過濾器 真空管道 硬波紋管等\電源以及電控柜:電源柜 濾波柜 控制柜 以及連接線
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液壓傳動裝置能準確的完成主爐室和副爐室的開啟,爐室、副爐室上升到位后對稱旋出,保主機穩定可靠,并便于機動取出晶體,拆裝熱場系統和清理爐內各部。爐體部件采用316L不銹鋼,法蘭整體鍛造,經過振動消除應力、缺陷檢查和探傷檢驗及氦質樸檢漏儀檢漏。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,原理編輯,把高純度的多晶硅原料放入高純石英坩堝,通過石墨加熱器產生的高溫將其熔化;然后,對熔化的硅液稍做降溫,使之產生一定的過冷度,再用一根固定在籽晶軸上的硅單晶體(稱作籽晶)插入熔體表面,待籽晶與熔體熔和后,慢慢向上拉籽晶,晶體便會在籽晶下端生長;接著,控制籽晶生長出一段長為100mm左右、直徑為3~5mm的細頸,用于消除高溫溶液對籽晶的強烈熱沖擊而產生的原子排列的位錯,這個過程是引晶;隨后,放大晶體直徑到工藝要求的大小,一般為75~300mm,這個過程稱為放肩;接著,突然提高拉速進行轉肩操作,使肩部近似直角;然后,進入等徑工藝,通過控制熱場溫度和晶體提升速度,生長出一定直徑規格大小的單晶柱體;后,待大部分硅溶液都已經完成結晶時,再將晶體逐漸縮小而形成一個尾形錐體,稱為收尾工藝。這樣一個單晶拉制過程基本完成,進行一定的保溫冷卻后可以取出。
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