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直拉硅單晶熱場加熱器設計分析\1熱場及加熱器簡介直拉硅單晶爐的熱場是指為了熔化硅料,并保持在一定溫度下進行單晶生長的整個溫度場系統,主要部件采用石墨材料和炭氈材料[1]。根據各部分的功能,可以大致分為加熱系統、傳熱及支撐系統、導流系統、保溫系統等。如加熱系統包括加熱器、石墨電極、連接螺栓等部件,傳熱及支撐系統包括石墨坩堝、石英坩堝、托盤、坩堝軸等部件,導流系統包括導流筒等部件,保溫系統包括保溫蓋、保溫筒、保溫炭氈等部件。熱場溫度區域的分布,直接影響了拉晶生產是否能順利進行,以及晶棒的拉速和品質。
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