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因此,避免提拉系統的晃動是單晶爐結構設計的關鍵點之一。在生產實際中發現,某型號單晶爐的提拉系統在工作轉速接近13~14r/min范圍時,提拉系統的軟軸會出現明顯的晃動,這個問題一直制約著晶體生長的質量和生產效率的提高。以前雖然提出過很多的解決措施,但其效果均不明顯。本文擬采用有限元分析的方法,對單晶爐的提拉系統進行分析,找出引起提拉系統軟軸晃動
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為了當不再繼續加料時,化料器升降驅動裝置更好地驅動導料管20提升不干涉主爐室坩堝21上升的位置,所述導流管20和支撐桿191均呈傾斜狀設置,所述支撐桿191和導流管20的傾斜方向及傾斜角度一致。為了增強外部化料器7的穩固性,所述連接塊194少設置有兩個。為了防止潤滑油脂揮發污染原料,所述絲杠192的外側套裝有可伸縮的防塵罩95,所述防塵罩95為波紋防塵罩。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,單晶爐晶體提拉系統平衡研究\提拉法單晶爐是晶體生長設備中重要的產品系列之一,用此方法單晶生長速度,晶體尺寸,晶體質量,易實現自動控制,因此獲得了廣泛的應用。而此方法生產單晶的主要因素取決于單晶提拉過程的平穩性,因此提拉系統良好的平穩性是提高單晶爐設備性能和生產效率的關鍵。以良好的平穩性為目標,本文對單晶爐提拉系統進行了系統平衡方面的研究。本文介紹了單晶爐提拉系統的功能、結構特點以及工作原理;討論了單晶爐提拉系統靜平衡與動平衡的原理和方法,分析、研究了提拉系統完全平衡的條件,以及提拉系統不平衡校正的方法。
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