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一種連續拉晶單晶爐背景技術:目前,大多數單晶爐都是采用一次性向主爐室坩堝投料的方法,通常是生產完一爐后,等單晶爐冷卻后,再往主爐室坩堝內裝料,進行下一次生產,這樣既浪費了時間,又造成了熱量的流失,且在拉晶棒的過程中,不能進行補料操作,在拉晶棒的后期階段,會因為硅料中某些元素的揮發而影響晶棒后半部分的質量。技術實現要素:本發明所要解決的技術問題是克服現有技術的缺陷,提供一種連續拉晶單晶爐,它可以連續加料、連續化料,從而實現連續拉晶,選用合適的主爐室坩堝可以實現連續拉制五六根晶棒,減少了冷卻、拆爐、裝爐的時間,提高了生產效率,也減少了熱量的流失。為了解決上述技術問題,本發明的技術方案是:一種連續拉晶單晶爐,它包括括底座、主爐室、副爐室、下驅動裝置和上驅動裝置,所述主爐室和下驅動裝置均安裝在底座上,藍寶石長晶爐回收,多晶硅鑄錠爐回收,提拉式長晶爐回收,多晶長晶爐回收,臥式長晶爐回收,拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,因此,在向單晶爐內不斷充入 的同時,還用真空泵將混合氣體排出爐外;在排氣時,混合氣體流經 爐中的加熱器、坩堝支持器等處,后經過爐下端的排氣口排出。上述圖1的單晶爐的不足之處在于單晶爐內空間較大,尤其是坩堝 支持器下方的空間較大,導致坩堝支持器下方的混合氣體不能及時排出, 熱能消耗量較大;另外,現有技術中,從輸入管向爐內充入時, 充氣氣壓為1. 3x 103pa,流量為40L/min,因此其消耗量大,生產 成本較高。
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