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整個爐內(nèi)的一氧化硅與的混合氣體(包 括坩堝支持器下方的混合氣體)能通暢地排出爐外,整個爐內(nèi)不存在排氣 不暢的地方,即不存在排氣死角,既有效地防止了一氧化硅氣體對加熱器 和坩堝支持器等石墨器件的腐蝕,還可使吸附在這些石墨器件上的雜質(zhì)粉 塵減少30%以上,從而確保了該爐的使用壽命,使所述石墨器件的使用壽 命從原來的90爐次提高11G爐次以上,另外還可對硅晶體的生長過程起 到穩(wěn)定作用,使平均成品率從原來的65%提高68%以上,并可提高單晶 的內(nèi)在質(zhì)量。本發(fā)明的氣流導(dǎo)向裝置的一對通氣孔與該爐的 一對排氣口相 對設(shè)置,縮短了排氣管路,利于提高排氣效率。
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真空技術(shù)在冶金、化工、輕工、食品、醫(yī)藥等領(lǐng)域得到了十分廣泛的應(yīng)用,然而在這些領(lǐng)域大都存在塵埃對真空系統(tǒng)的危害問題。為保護真空系統(tǒng)或真空泵不受粉塵和固體顆粒污染和損壞,管路中需配置真空除塵器和真空過濾器。它們可保護真空閥門不被阻塞,避免閥板關(guān)閉不嚴造成漏氣,保護測量壓力的真空規(guī)管不受污損,防止泵受損而工作失常等,對真空設(shè)備的凈化和平穩(wěn)、持續(xù)工作均很重要。除塵機理及過程從氣體中捕集分離粒子的除塵機理,主要有以下幾個方面:、重力氣流中的塵粒可以依靠重力自然沉降,從氣流中進行分離。由于塵粒的沉降速度一般較小,這個機理只適用于粗大的塵粒、離心力利用機械力來捕集分離含塵氣流中的粉塵,離心力除塵裝置是其中有效的除塵裝置。它對粒徑較小塵粒的分離捕集非常有效。含塵氣流作圓周運動時,分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,在本實施例中,所述副爐室升降驅(qū)動裝置12的結(jié)構(gòu)和加料器升降驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)一致,所述副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置13的結(jié)構(gòu)和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)也一致。為了防止在副爐室3移動到取晶位的過程中,因晶棒掉落而出現(xiàn)事故,連續(xù)拉晶單晶爐還包括在副爐室3移動到取晶位的過程中用于承接晶棒的電動接晶托,所述電動接晶托包括提升桿、用于承接晶棒的托板153、電動推桿152、接晶托電機154和固定管151,所述電動推桿152連接在副爐室旋臂14上,所述提升桿連接在電動推桿152的推桿上,以便通過推桿的升降帶動提升桿升降,所述接晶托電機154連接在提升桿上,所述托板153連接在接晶托電機154的輸出軸上,以便通過接晶托電機154驅(qū)動托板153旋轉(zhuǎn),所述固定管151套裝在提升桿和電動推桿152的推桿的外側(cè),所述固定管151連接在副爐室旋臂14上。
所屬分類:設(shè)備回收/壓縮分離設(shè)備回收
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