江蘇姜堰多晶硅鑄錠爐回收 控制柜回收聯(lián)系電話
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電控系統(tǒng)采用微機控制,功能全、精度高、穩(wěn)定性好。且具有以下特點:溫度自動控制系統(tǒng)\電機調(diào)速控制系統(tǒng)\單晶直徑自動控制系統(tǒng)\單晶熔體自動跟蹤系統(tǒng)\單晶重量及長度顯示功能\各拉晶有關(guān)參數(shù)包括籽晶軸,坩堝軸的轉(zhuǎn)動速度,晶升和堝升速度,爐內(nèi)壓力,冷卻部位溫度等數(shù)據(jù)都采用數(shù)字顯示儀表指示,兩筆記錄儀記錄溫度和籽晶拉速,能穩(wěn)定的控制生長直徑5~8英寸,直徑均勻的無錯位單晶。采用軟籽晶軸,具有特的晶體提升機構(gòu)。的磁流體密封技術(shù),新型翻板閥結(jié)構(gòu),拱形封頭式爐蓋結(jié)構(gòu),考慮熱變形采用浮動提升結(jié)構(gòu),防止卡死現(xiàn)象。單晶提拉采用可承受150Kg不銹鋼絲軟軸,電控系統(tǒng)采用微機控制,紅外測徑技術(shù),進口電動及驅(qū)動器,保生長大扭矩高穩(wěn)定性。
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工作原理如下:取出晶棒后,將硅料加入加料坩堝62,蓋上外部加料器6的上蓋63,將外部加料器6真空抽到合適壓力值時打開旋閥64,硅料落入外部化料器7中并在外部化料器7中被熔化,熔化后的硅料流入主爐室坩堝21,當(dāng)外部化料器7中的硅料加完后,再關(guān)閉旋閥64,把外部加料器6充常壓,打開外部加料器6的上蓋63繼續(xù)加料,如此循環(huán),進而完成外部加料、化料,本發(fā)明可實現(xiàn)連續(xù)拉晶,選用合適的主爐室坩堝21可以實現(xiàn)連續(xù)拉制五六根晶棒,可大幅減少冷卻、拆爐、裝爐的時間,進而提高生產(chǎn)效率;本發(fā)明可通過加料器升降驅(qū)動裝置和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置將外部加料器6移出工作位并旋開,進而方便拆爐和清理,本發(fā)明的加料器升降驅(qū)動裝置和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置配上工裝還可以吊裝主爐室2的零部件;本發(fā)明可通過副爐室升降驅(qū)動裝置12和副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置13驅(qū)動副爐室3移動,分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,具體地,為了減小螺釘16的上端部與上減震橡膠墊172之間的壓強,進而延長上減震橡膠墊172的使用壽命,所述螺釘16的上端部和上減震橡膠墊172之間設(shè)置有墊片173。在本實施例中,所述螺釘16設(shè)置有四個,為了當(dāng)不再繼續(xù)加料時,可以更方便地將外部化料器7提升不干涉主爐室坩堝21上升的位置,并方便外部化料器7的移動、拆解和清理,連續(xù)拉晶單晶爐還包括化料器升降驅(qū)動裝置和化料器旋臂18,所述底座1上設(shè)置有立柱10,所述化料器旋臂18鉸接在立柱10上,所述化料器升降驅(qū)動裝置連接在化料器旋臂18上,所述外部化料器7連接在化料器升降驅(qū)動裝置上,以便在不繼續(xù)加料時,通過化料器升降驅(qū)動裝置驅(qū)動外部化料器7上升不干涉主爐室坩堝21上升的位置;和化料器升降驅(qū)動裝置及外部化料器7隨化料器旋臂18一起轉(zhuǎn)動。
所屬分類:設(shè)備回收/壓縮分離設(shè)備回收
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