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在該爐工作前，由設于排氣口 13上的真空泵將爐內空氣排盡，然后從 該爐上端充入。工作時，爐內的石英坩堝上方不斷有一氧化硅和粉塵 雜質生成，因此在不斷充入的同時，所述真空泵同時將一氧化硅、粉 塵雜質與等的混合氣體排出，其中，氣體的流動過程為從石英坩堝上 方經坩堝支持器14與發熱體16之間的間隙，以及發熱體16與保溫筒17 之間的間隙流入氣流導向裝置20,然后經圖6中的氣流導向裝置20的一對 通氣孔2-3、通氣管19從排氣口 13排出。本實施例的氣流導向裝置20可有效減小爐內空間(尤其是坩堝支持器 14下方的空間)，便于排氣，且利于減少熱能和的消耗量；另外，
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