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供應商	上海河辰物資回收利用有限公司店鋪
認證
報價	人民幣 200000.00元每臺
關鍵詞	多晶硅鑄錠爐回收
所在地	上海市

產品詳細介紹

浙江濱江多晶硅鑄錠爐回收真空泵回收現場報價

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半導體級直拉法的工藝控制\進入21世紀以來,隨著新興產業的科技創新,半導體行業得到了的發展。半導體產業發展迅猛,尤其近幾年,大力發展半導體產業,縮短該行業與世界水平的差距。目前雖然有許多新興材料來替代硅材料,但未來幾年可以預見,硅材料由于其成熟的技術品質和穩定的物理化學性質,將會在相當長的一段時間里是主流材料。硅單晶作為主要材料,應用的領域也是相當廣泛的。硅單晶是由多晶硅原料經過物理變化,讓硅原子按照人為設定的方向進行生長,終形成的。一般會采用直拉法進行制備。晶圓的直徑越大,集成電路制造的成本將會越低,因此要求作為材料的硅單晶的直徑也要相應的增大。這里面涉及到了一系列問題。這篇論文主要討論的是通過對熱場的設計,工藝的過程控制,減少位錯的產生,以及通過化學腐蝕對位錯進行檢測的相關問題。
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干式電力樹脂變壓器，高壓開關柜，低壓配電柜，施耐德接觸器、真空斷路器、NEC斷路器、富士通繼電器、西門子接觸器，互感器、調壓器、整流器、進口矽鋼片、硅鋼片、電力設備、空調冷水機組、風冷機組、溴化鋰機組、回收電梯、自動扶梯、觀光電梯、汽車梯、老式貨梯、燃氣鍋爐、臥式鍋爐、交換器、進口發電機組、康明斯、大宇、東風等等、行車、叉車、集裝箱、機械設備、制冷設備、化工設備、起重設備、辦公設備、酒店設備、污水處理設備

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工作原理如下：取出晶棒后，將硅料加入加料坩堝62，蓋上外部加料器6的上蓋63，將外部加料器6真空抽到合適壓力值時打開旋閥64，硅料落入外部化料器7中并在外部化料器7中被熔化，熔化后的硅料流入主爐室坩堝21，當外部化料器7中的硅料加完后，再關閉旋閥64，把外部加料器6充常壓，打開外部加料器6的上蓋63繼續加料，如此循環，進而完成外部加料、化料，本發明可實現連續拉晶，選用合適的主爐室坩堝21可以實現連續拉制五六根晶棒，可大幅減少冷卻、拆爐、裝爐的時間，進而提高生產效率；本發明可通過加料器升降驅動裝置和加料器旋轉驅動裝置將外部加料器6移出工作位并旋開，進而方便拆爐和清理，本發明的加料器升降驅動裝置和加料器旋轉驅動裝置配上工裝還可以吊裝主爐室2的零部件；本發明可通過副爐室升降驅動裝置12和副爐室旋轉驅動裝置13驅動副爐室3移動，分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，全自動控制系統采用模塊化設計，維護方便，可靠性高，抗干擾性好。雙攝像頭實時采集晶體直徑信息。液面測溫確保下籽晶溫度和可重復性。爐內溫度或加熱功率控制方式可選，保控溫精度。質量流量計控制流量。真空計結合電動蝶閥實時控制爐內真空度。上稱重傳感器用于晶棒直徑的輔助控制。伺服電機和步進電機的混合使用，即可滿足轉動所需的扭矩，又可實現轉速的控制。質量流量計控制流量。自主產權的控制軟件采用視窗平臺，操作方便簡潔直觀。多種曲線和數據交叉分析工具提供了工藝實時監控的平臺。完整的工藝設定界面使計算機可以自動完成幾乎所有的工藝過程。加熱電源采用綠色縱向12脈沖直流電源。比傳統直流電源節能近15%。特殊的溫場設計使晶體提拉速度提高20-30%。