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六氟化硫是硫和氟在高溫下反應而成的。
允許濃度：10 ppm（12mg/m3）
六氟化硫在生理上不活躍，在藥理學上被認為是惰性氣體。但當含有SF4等雜質時有毒。吸入高濃度SF6會出現呼吸困難、哮喘、皮膚和粘膜發藍、全身痙攣等窒息
氣體使用裝置可用肥皂液檢漏，六氟化硫無腐蝕性，可用不銹鋼、銅、鋁等一般材料。發生火災時，用水沙滅火即可。泄漏的氣體可以倒入燒堿和熟石灰的混合溶液中進行處理，也可以將泄漏的氣瓶放入通風柜。
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