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背壓法
背壓法氦質譜檢漏檢漏過程主要包括三個步驟：充壓、凈化、檢漏
1）充壓：將被檢件放入充氦箱，充入一定壓力的氦氣，在規定的加氦時間內，如果被檢件有漏孔，示漏氣體會通過漏孔進入到被檢件內部。隨著時間的增加和充壓壓力的提高，這個被檢件內部的示漏氣體分壓也會逐漸升高。
2）凈化。用干燥氮氣或干燥空氣吹除被檢件表面殘存的氦氣。如果被測件表面存在油脂或者水汽等異物，會導致氦媳婦，影響漏率測量。這個過程中，會有部分示漏氣體從被檢件內經漏孔流失，導致被檢件內部示漏氣體分壓力下降。因此凈化階段時間越長，示漏氣體的分壓將越大。
3）檢漏。在規定的時間內，放入測試室，用氦質譜檢漏儀測定被檢件漏率。
背壓法的優點是檢測靈敏度高，能實現小型密封容器產品的泄漏檢測，可以進行批量化檢測。
背壓法的缺點是不能進行大型密封容器的漏，否則由于密封腔體容積太大，導致加壓時間太長。此外，每個測量漏率都對應兩個等效標準漏率，在細檢完成后還需要采用其它方法進行粗檢，排除大漏的可能。
