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為了配合di76．Zmm器件生產線的發展，我所研制了國內臺15～30公斤的DL。78型單晶爐［‘］，并在該單晶爐上研究了48Omm硅單晶的控制工藝［‘］。在控制大直徑硅單晶的過程中，涉及的面比較廣，尤其是從我國原有1公斤、th3orum級的基礎上跳躍到12公斤、680mm硅單晶的拉制工藝，需要研究討論的問題很多，例如，熱場的設計、減壓工藝的設計與調整
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上虞半導體材料生產設備的設計、制造和調試的股份制企業。通過人才引進，擁有一批高、中級技術型的研發設計人員和經營管理人才，具有自主的產品設計開發能力和相當規模的生產能力。依托浙江大學機械電子控制工程研究所的高科技優勢，通過與浙江大學大學科技園杭州慧翔電液技術開發有限合作，共同開發出擁有自主知識產權的ZJS系列TDR80A，TDR80B，TDR8，TDR9型全自動晶體生長爐，并形成批量生產。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，(4) 電氣硬件設置、本系統的電氣柜內布局采用模塊化集中管理，各個模塊間連接簡單，單個模塊可以帶電維修，電機保護采用空氣開關和絲結合的方法便于操作和維護。同時主要的電氣點都能簡單的在端子板上查出。整個機箱布局合理，簡單。同時帶有雙色聲光報*燈進行提示。
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