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在該爐工作前，由設于排氣口 13上的真空泵將爐內空氣排盡，然后從 該爐上端充入。工作時，爐內的石英坩堝上方不斷有一氧化硅和粉塵 雜質生成，因此在不斷充入的同時，所述真空泵同時將一氧化硅、粉 塵雜質與等的混合氣體排出，其中，氣體的流動過程為從石英坩堝上 方經坩堝支持器14與發熱體16之間的間隙，以及發熱體16與保溫筒17 之間的間隙流入氣流導向裝置20,然后經圖6中的氣流導向裝置20的一對 通氣孔2-3、通氣管19從排氣口 13排出。本實施例的氣流導向裝置20可有效減小爐內空間(尤其是坩堝支持器 14下方的空間)，便于排氣，且利于減少熱能和的消耗量；另外，
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設計與仿真編輯在直拉法生長硅單晶的過程中，硅單晶生長的成功與否以及質量的高低是由熱場的溫度分布決定的。溫度分布合適的熱場，不僅硅單晶生長順利,而且品質較高；如果熱場的溫度分布不是很合理，生長硅單晶的過程中容易產生各種缺陷，影響質量，情況嚴重的出現變晶現象生長不出來單晶。因此在投資硅單晶生長企業的前期，一定要根據生長設備，配置出合理的熱場,從而保生產出來的硅單晶的品質。在直拉硅單晶生長工藝中,一般采用溫度梯度來描述熱場的溫度分布情況，其中在固液界面處的溫度梯度為關鍵。數值模擬是在一個低成本的情況下,利用電腦計算提供的詳盡資料，用以支持真正的（且昂貴）實驗。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，生長Φ8“直拉硅單晶Φ8”熱場研究及數值模擬\隨著科學的飛速發展,出于提高生產率、降低成本的目的,器件廠家隨著生產規模的擴大逐步要求增大硅片直徑。硅單晶直徑增大后,大熔硅體積、嚴重的熱對流使單晶氧含量增大。晶體直徑的增大也使結晶潛熱的散發更加困難,結晶速率難以提高。為了解決這兩個問題,本文在國產TDR-80單晶爐的基礎上,對熱場進行了局部改造,施加了新型加強復合式熱屏。有限元法是一種能求得許多工程問題近似解的數值分析方法。由于拉單晶過程中投料量較大,爐體結構復雜、造價昂貴,所以拉晶實驗成本太高。
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