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一種實用的單晶爐提拉速度控制系統\前言半導體材料是半導體工業的基礎材料 ,在半導體材料中用量和用途廣的是半導體硅。當今 95 %以上的半導體器件是用硅材料制造的 ,99%以上的集成電路是硅集成電路。生產集成電路所需要的單晶硅 ,是在硅結晶生長開始時 ,用低速提拉、生長過程均速提拉的辦法制成的。提拉速度的控制性能將直接影響到晶體的質量。當今 ,隨著 IT產業的迅速發展 ,單晶硅生產市場需求劇,研制一種滿足工藝要求、低成本的提拉速度控制系統具有重要的實際意義。
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單晶爐熱場的設計與仿真單晶直徑在生長過程中可受到溫度，提拉速度與轉速，坩堝跟蹤速度與轉速，保護氣體的流速等因素的影響。其中溫度主要決定能否成晶，而速度將直接影響到晶體的內在質量，而這種影響卻只能在單晶拉出后通過檢測才能獲知。溫度分布合適的熱場，不僅單晶生長順利，而且品質較高；如果熱場的溫度分布不是很合理,生長單晶的過程中容易產生各種缺陷,影響質量，情況嚴重的出現變晶現象生長不出來單晶。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，在本實施例中，所述副爐室升降驅動裝置12的結構和加料器升降驅動裝置的結構一致，所述副爐室旋轉驅動裝置13的結構和加料器旋轉驅動裝置的結構也一致。為了防止在副爐室3移動到取晶位的過程中，因晶棒掉落而出現事故，連續拉晶單晶爐還包括在副爐室3移動到取晶位的過程中用于承接晶棒的電動接晶托，所述電動接晶托包括提升桿、用于承接晶棒的托板153、電動推桿152、接晶托電機154和固定管151，所述電動推桿152連接在副爐室旋臂14上，所述提升桿連接在電動推桿152的推桿上，以便通過推桿的升降帶動提升桿升降，所述接晶托電機154連接在提升桿上，所述托板153連接在接晶托電機154的輸出軸上，以便通過接晶托電機154驅動托板153旋轉，所述固定管151套裝在提升桿和電動推桿152的推桿的外側，所述固定管151連接在副爐室旋臂14上。
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