浙江富陽渦旋高真空泵回收 浙江富陽長晶爐回收
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原理編輯,把高純度的多晶硅原料放入高純石英坩堝,通過石墨加熱器產生的高溫將其熔化;然后,對熔化的硅液稍做降溫,使之產生一定的過冷度,再用一根固定在籽晶軸上的硅單晶體(稱作籽晶)插入熔體表面,待籽晶與熔體熔和后,慢慢向上拉籽晶,晶體便會在籽晶下端生長;接著,控制籽晶生長出一段長為100mm左右、直徑為3~5mm的細頸,用于消除高溫溶液對籽晶的強烈熱沖擊而產生的原子排列的位錯,這個過程是引晶;隨后,放大晶體直徑到工藝要求的大小,一般為75~300mm,這個過程稱為放肩;接著,突然提高拉速進行轉肩操作,使肩部近似直角;然后,進入等徑工藝,通過控制熱場溫度和晶體提升速度,生長出一定直徑規格大小的單晶柱體;后,待大部分硅溶液都已經完成結晶時,再將晶體逐漸縮小而形成一個尾形錐體,稱為收尾工藝。這樣一個單晶拉制過程基本完成,進行一定的保溫冷卻后可以取出。藍寶石長晶爐回收,多晶硅鑄錠爐回收,提拉式長晶爐回收,多晶長晶爐回收,臥式長晶爐回收,拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,TD-800型軟軸提拉型單晶爐,是根據用戶實際需求研發的新產品。是在流動惰性氣體環境中,以石墨電阻加熱器,將硅半導體材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。它可以生產大規模太陽能電池、集成電路所需要的硅單晶。單晶爐主機系統包括:底座立柱、坩堝驅動裝置、主爐室、翻板閥室,副爐室,籽晶提升與旋轉機構、液壓驅動裝置、真空系統,充氣系統及水冷系統。爐室結構為頂升式,主爐室和副爐室開啟時由液壓傳動裝置實現上移。爐室和副爐室之間,設有浮動式翻板閥室,可在現場維持工藝溫度的情況下,取出晶體,更換籽晶和補充加料進行連續拉晶。
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