根據提供的內容，《GB/T 16942 2009 電子工業用氣體氫》中提到的氫氣組分檢測方法包括以下內容： 

1.    氮、    、二氧化碳  ：可以采用氣相色譜法（GC）進行檢測。 

2. 2.   氧氣  ：可以通過順磁性氧分析儀或氣相色譜法（GC）進行測定。 

3. 3.   痕量雜質分析  ：采用氣相色譜法（PDHID檢測器），通過多閥組合切割技術和夾套吹掃型氣體進樣方式，可一次性實現對高純氫氣中微量或痕量氧、氮、    、甲 等雜質的測定。 這些方法均在相關標準附錄中作為規范性附錄列出，并由全國半導體設備和材料標準化技術提出。