高壓發(fā)生器的輸出功率一般為3kW或4kW，將高壓加至X射線光管后，除小部分用于產生X射線外，大部分轉化為熱能，由內部水循環(huán)冷卻系統(tǒng)帶走。內循環(huán)水用于冷卻陽極靶附近的光管頭部分，因此要求內循環(huán)水為電導率很低的去離子水，以防高壓擊穿。內循環(huán)水通過儀器內部的去離子樹脂柱降低電導率，去離子樹脂柱中的樹脂會年久失效，因此高壓無法啟動時，可檢查一下內循環(huán)水的電導率，如果電導率降不下去，考慮更換樹脂。另外，內循環(huán)水的水位過低，也會導致高壓開不起來。

光譜室常見的漏氣部位是流氣計數器，流氣計數器安裝在光譜室內，有一根入氣管和一根出氣管與外界相通，流氣計數器的窗膜很薄，窗膜漏氣，就會影響光譜室真空。檢查方法：將入氣管和出氣管用一根軟管連接，使流氣計數器與外界隔絕，然后抽真空。檢查真空故障，在拆卸和安裝時，要小心操作，不要讓灰或頭發(fā)掉到密封圈上，以避免產生新的漏氣點，安裝時可以在密封部位涂一點真空油脂。

高分辨率高度的檢測方式讓我國現今許多產品的檢驗擁有了更好的效果，而光譜儀器本身的分辨能力和精細的光譜辨析效果也為后續(xù)的測量質量帶來了更好的品質，這種光譜儀裝置其本身的檢測效果要表現出穩(wěn)定的質量，規(guī)避相應的影響因素才能夠表現出更好的價值。