根據GB/T 16942 2009《電子工業用氫》，該標準規定了電子工業用氫的純度要求，包括總雜質含量（體積分數）的具體指標：   氧（O?）：≤0.05×10??   氮（N?）：≤0.2×10??   二氧化碳（CO?）：≤0.5×10??       （CO）：≤0.2×10??   甲 （CH?）：≤0.2×10??   總烴（以甲 計）：≤0.5×10??   水（H?O）：≤1.0×10??   氬（Ar）：≤2.8×10??   氦（He）：≤4.5×10?? 此外，還對顆粒數有要求，具體需滿足供需雙方協議的規定。這些指標確保了電子工業用氫的高純度，適用于提供還原氣氛、作為外延工藝的載氣及等離子體蝕刻劑的配氣原料。