Ta2O5（氧化鉭）薄膜的光譜透過波段為0.3～10um，是可見光到近紅外波段重要的高折射率材料之一。

鉭 Ta，金屬元素，主要存在于鉭鐵礦中，同鈮共生。鉭的硬度適中，富有延展性，可以拉成細絲式制薄箔。其熱膨脹系數很小。鉭有非常出色的化學性質，具有的抗腐蝕性，無論是在冷和熱的條件下，對鹽酸、及“王水”都不反應

鉭在單質中，僅次于碳，鎢，錸和鋨，第五。鉭富有延展性，可以拉成細絲式制薄箔。其熱膨脹系數很小。每升高一攝氏度只膨脹百萬分之六點六。除此之外，它的韌性很強，比銅還要。

鉭還有非常出色的化學性質，具有的抗腐蝕性，無論是在冷和熱的條件下，對鹽酸、及“王水”都不反應。

鉭磁控濺射靶材所具有的特性，使它的應用領域十分廣闊

鉭是稀有金屬礦產資源之一，是電子工業和空間技術發展不可缺少的戰略原料