臭氧是一種氧化性的不穩定氣體，臭氧輸出濃度受多種因素的影響，其中腔體溫度是極重要的因素；臭氧在30度左右時會在1分鐘內衰減一半。在 40~50℃ 時衰減達到80%。超過60℃臭氧會馬解。
臭氧產量是指臭氧發生器單位時間內臭氧的產出量；臭氧濃度數值與進入臭氧發生器總氣量數值的乘積即為臭氧產量；通常使用mg/h,g/h,kg/h這些單位表示。臭氧發生器標準中規定臭氧發生器規格型號使用臭氧產量表示和區分。小型臭氧發生器使用g/h為單位，大型臭氧發生器使用kg/h為單位區分規格的大小。

臭氧系統的核心技術和設備是發生器中的放電管，直接影響設備的運行效率和可靠性。臭氧發生器采用微間隙介質阻擋放電設計，不僅提高了運行的效率，而且增加了系統連續運行的安全可靠性。設備的技術參數已經達到國際水平。
由于采用微間隙放電技術，使系統運行電壓降低為6-8 kV，遠低于玻璃管絕緣介質的耐壓水平，有效地避免了介質擊穿短路故障的發生，提高了運行可靠性。

臭氧發生器電路由三管VT1、VT2與電感線圈L1一13、脈沖變壓器T、限流電阻器R1、充電電容器C3,雙向觸發二管叨5等組成推挽振蕩電路；濾波電感線圈L0,整流二管VD1與濾波電容器C1、C2等組成半波整流濾波電路。 接通電源，交流220V電壓經LO濾波，VD1整流后，在C1兩端產生十280V左右的電壓，供給推挽振蕩電路。 在開機瞬間，VT1導通。由于C3的充電作用，雙向觸發二管VD5截止。當C3兩端的充電電壓升至32V時，VD5被觸發而導通，使VT2導通。在VT2導通期間，C3逐漸放電，又使VT2截止。VTl導通后，在脈沖變壓器T的作用下，L1、L2上產生正反饋電壓，此電壓分別加至VTl和VT2的基，使VTl和VT2交替導通與截止（即VTl導通時，VT2截止；VT2導通時，VTl截止），推挽振蕩電路振蕩工作。 推挽振蕩電路工作后，在脈沖變壓器T的二次側繞組L6上產生脈沖高壓，使臭氧發生片VG工作，產生臭氧。