在使用氧化鋁拋光液時,需要注意以下幾點:
1. 選擇適合的顆粒大小和穩定劑類型,根據需要進行調配。
2. 在拋光過程中,控制拋光液的溫度、濃度和拋光時間,以避免對材料造成損傷。
3. 定期檢查拋光液的質量和穩定性,及時更換或補充添加。
目前市場上使用為廣泛的幾種磨料是SiO2、CeO2、Al2O3。其中Al2O3憑借其硬度高、穩定性好等優點,廣泛應用于藍寶石、碳化硅等材料的CMP技術中。Al2O3具有10余種晶型,其中常見的為α、β、γ等,一般選用50~200nm粒徑分布均勻的α-Al2O3作為拋光磨粒。
氧化鋁拋光液是一種應用在金相拋光中的磨料。其實,它的作用還遠不止于此。它還可以去除樣品表面肉眼不可見的表面變形層,尤其是使用高倍物鏡、偏振光、微分干涉或EBSD 技術檢測或是評定樣品時。對于一些做鑄鐵、鋼、不銹鋼、銅、聚合物、礦物質、微電子、貴金屬等金相樣品制備的實驗室來說,氧化鋁拋光液是的一種磨料。