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TD-800型軟軸提拉型單晶爐，是根據(jù)用戶實(shí)際需求研發(fā)的新產(chǎn)品。是在流動惰性氣體環(huán)境中，以石墨電阻加熱器，將硅半導(dǎo)體材料熔化，用直拉法生長無錯位單晶的設(shè)備。它可以生產(chǎn)大規(guī)模太陽能電池、集成電路所需要的硅單晶。單晶爐主機(jī)系統(tǒng)包括：底座立柱、坩堝驅(qū)動裝置、主爐室、翻板閥室，副爐室，籽晶提升與旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、液壓驅(qū)動裝置、真空系統(tǒng)，充氣系統(tǒng)及水冷系統(tǒng)。爐室結(jié)構(gòu)為頂升式，主爐室和副爐室開啟時由液壓傳動裝置實(shí)現(xiàn)上移。爐室和副爐室之間，設(shè)有浮動式翻板閥室，可在現(xiàn)場維持工藝溫度的情況下，取出晶體，更換籽晶和補(bǔ)充加料進(jìn)行連續(xù)拉晶。藍(lán)寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，根據(jù)權(quán)利要求4所述的直拉式單晶生長爐，其特征在于所述氣流 導(dǎo)向裝置(20)的上端部(2-4)的外壁與該爐的保溫筒(17)密封連接。6、 根據(jù)權(quán)利要求5所述的直拉式單晶生長爐，其特征在于所述氣流 導(dǎo)向裝置(20)各通氣孔(2-3)與該爐的排氣口 (13)通過通氣管(19) 相連通。7、 根據(jù)權(quán)利要求6所述的直拉式單晶生長爐，其特征在于所述氣流 導(dǎo)向裝置(20)由石墨制成。

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浮力提拉單晶爐提拉機(jī)構(gòu)特性分析\一、引言 浮力提拉單晶爐(簡稱FTD)是利用浮力原理設(shè)計(jì)成的提拉式單晶爐帕,十多年來,用它先后生長成功了多種晶體〔2一5〕。這種爐子容易制造,成本低,易于推廣,目前國內(nèi)已有幾個廠家使用它生產(chǎn)泥酸鏗單晶。作為一種發(fā)明,FTD也受到肯定和重視。可是,FTD在問世以后,卻沒有進(jìn)行深入探討。雖然FTD的設(shè)計(jì)有過幾次變化,但由于沒有掌握設(shè)計(jì)的則,致使FTD存在不同程度的提拉不均勻現(xiàn)象,嚴(yán)重地影響了它的推廣普及。為了改善它的提拉特性,我們研究了FTD浮力提拉原理,對多臺FTD作了分析對比,由此找出了提拉不均勻性產(chǎn)生的根源;明確了FTD提拉機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)要領(lǐng)。希望這-一卜作能夠推動FTD的發(fā)展.并有助于單晶的生長研究和生產(chǎn)。二、FTD浮力提拉原理、提拉不均性的產(chǎn)生習(xí)C^l 奮幽1吮止~乙二丁~二二二Dr1.甲一一一一一一1。}