制備五氧化二鉭薄膜并研究其性能,有很強的實用價值,已引起人們的密切關注。
Ta2O5（氧化鉭）薄膜的光譜透過波段為0.3～10um，是可見光到近紅外波段重要的高折射率材料之一。
鉭 Ta，金屬元素，主要存在于鉭鐵礦中，同鈮共生。鉭的硬度適中，富有延展性，可以拉成細絲式制薄箔。其熱膨脹系數很小。鉭有非常出色的化學性質，具有的抗腐蝕性，無論是在冷和熱的條件下，對鹽酸、及“王水”都不反應
鉭還有非常出色的化學性質，具有的抗腐蝕性，無論是在冷和熱的條件下，對鹽酸、及“王水”都不反應。
鉭的硬度較低，并與含氧量相關，普通純鉭，退火態的維氏硬度僅有140HV [1] 。它的熔點高達2995℃
鉭磁控濺射靶材所具有的特性，使它的應用領域十分廣闊
鉭雖然在19世紀初就已被發現了，但直到1903年才制出了金屬鉭，1922年開始工業生產鉭。因此，世界鉭工業的發展始于20世紀20年代，中國鉭工業始于1956年
鉭是稀有金屬礦產資源之一，是電子工業和空間技術發展不可缺少的戰略原料
一般來說，廢鉭材回收的主要步驟包括收集、分類、預處理、再生和再利用等環節。其中，預處理是一個關鍵步驟，它包括去除雜質和清洗等過程，以使廢鉭材能被重新利用。
