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提拉式單晶爐在節能減排方面的主要目標包括,非化石能源占一次能源消費比重達到11.4%,單位國內生產總能源消耗降低16%,單位國內生產總值化碳排放降低17%。要達到這樣的目標,需要調用一切有效的手段,而光伏發電無疑是一種的選擇。縱觀能源利用現狀,以及為實現“十一五”節能減排目標所作出的努力,在未來的節能減排目標上仍面臨著重大的挑戰。
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整個爐內的一氧化硅與的混合氣體(包 括坩堝支持器下方的混合氣體)能通暢地排出爐外,整個爐內不存在排氣 不暢的地方,即不存在排氣死角,既有效地防止了一氧化硅氣體對加熱器 和坩堝支持器等石墨器件的腐蝕,還可使吸附在這些石墨器件上的雜質粉 塵減少30%以上,從而確保了該爐的使用壽命,使所述石墨器件的使用壽 命從原來的90爐次提高11G爐次以上,另外還可對硅晶體的生長過程起 到穩定作用,使平均成品率從原來的65%提高68%以上,并可提高單晶 的內在質量。本發明的氣流導向裝置的一對通氣孔與該爐的 一對排氣口相 對設置,縮短了排氣管路,利于提高排氣效率。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,而采用有限元法數值模擬是一種優化單晶爐設計的重要工具。本文對采用矮加熱器的復合式熱場進行了數值模擬,得到了流場分布圖和熱場溫度分布圖。對新型熱屏和矮加熱器對晶體生長的影響進行了系統的理論分析和實驗驗工作。結果表明,新型熱屏不僅起到導流筒的作用,改進了流場,使單晶氧含量下降;而且熱屏解決了大直徑單晶生長中結晶潛熱難以散發的問題,大大提高了拉晶速率,降低了生產成本。