“真空箱氦檢漏”是指在真空系統中使用氦氣（He）作為示蹤氣體，檢測系統是否存在泄漏的一種方法。這種方法常用于高真空或真空系統中，如半導體制造、航空航天、科研設備等對密封性要求的場合。 一、基本原理
氦氣特性 ： 氦氣分子小，滲透性強。 不易與其他物質發生化學反應，適合做示蹤氣體。 在大氣中含量低，背景干擾少，靈敏度高。
2. 檢測方式 ： 將被測系統抽至一定真空狀態。 向系統中注入少量氦氣（通常為已知濃度的混合氣體）。 使用 質譜檢漏儀（Mass Spectrometer Leak Detector, MSLD） 檢測系統是否泄漏出氦氣。 二、檢測步驟（簡要）
1. 準備階段 ： 確保被測系統處于干燥、清潔狀態。 抽真空至所需壓力（通常為10??~10?? mbar）。
2. 加壓/加氦 ： 在系統泄漏的位置（如法蘭、閥門、接頭等）噴灑或注入氦氣。 或者將整個系統置于氦氣環境中進行檢測。
3. 檢測階段 ： 使用質譜檢漏儀監測系統內是否有氦氣泄漏。 根據儀器讀數判斷泄漏位置和大小。
