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真空檢漏
真空法
真空法可以分為真空噴吹法和真空氦罩法。
真空噴吹法：先將被檢件抽真空，內部與檢漏儀相連，采用噴吹的方法在被檢件可能存在漏孔的位置用噴槍自上而下，由近及遠（相對于檢漏儀位置）噴氦，如果有漏孔，氦氣立即會被吸入到真空系統，氦質譜檢漏儀會發出響應。其中真空噴吹法是常用的一種檢測方法，采用噴槍的方式向被檢產品外表面噴吹氦氣，可以實現漏孔的定位，而且氦氣消耗少
真空氦罩法：將抽真空的被檢件全部或局部放入充滿一定濃度氦氣的氦罩內，經過一段時間后，如檢漏儀發出響應，則代表有漏點。真空氦罩法這種方法可以實現漏率的測量，這個漏率稱為總漏率。此方法不能確定有幾個泄漏點和每個漏點的準確位置。
真空法優點是檢測靈敏度高，可以定位，能實現大容器或復雜結構產品檢漏。
真空法缺點是只能實現一個大氣壓差的漏率檢測，不能檢測帶壓工作的產品。
