探針一般由精密儀器鉚接預(yù)壓后形成,針頭、針尾、彈簧、外管四個(gè)基本部件。
由于半導(dǎo)體產(chǎn)品體積小,特別是芯片產(chǎn)品尺寸非常小,探針尺寸要求達(dá)到微米級(jí)。它是一種精密電子元器件,具有較高的制造技術(shù)含量。
在晶圓或芯片測(cè)試的過(guò)程中,通常會(huì)使用探針來(lái)準(zhǔn)確連接晶圓或芯片的引腳或錫球與測(cè)試機(jī),以便檢測(cè)產(chǎn)品的導(dǎo)通性、電流性、功能性和老化性等性能指標(biāo)。
可彈性探針是一個(gè)由螺旋彈簧組成的探針,其兩端連接在上下柱栓上。螺旋彈簧的中間部分緊密纏繞在一起,以防止產(chǎn)生額外的電感和附件電阻。而彈簧的兩端部分則被稀疏纏繞,以降低探針對(duì)被測(cè)試物體的壓力。在檢測(cè)集成電路時(shí),信號(hào)會(huì)從下柱栓流向上方,形成導(dǎo)電路徑。
垂直探針可以對(duì)應(yīng)高密度信號(hào)觸點(diǎn)的待測(cè)半導(dǎo)體產(chǎn)品的細(xì)間距排列,針尖接觸待測(cè)半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的縱向位移可以通過(guò)針體本身的彈性變形來(lái)提供。懸臂探針為探針部提供適當(dāng)?shù)目v向位移,用于通過(guò)橫向懸臂接觸待測(cè)半導(dǎo)體產(chǎn)品,以避免探針部對(duì)待測(cè)半導(dǎo)體產(chǎn)品施加過(guò)大的針壓。
由于半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程十分復(fù)雜,任何一個(gè)環(huán)節(jié)出現(xiàn)錯(cuò)誤都可能導(dǎo)致大量產(chǎn)品質(zhì)量不合格,甚至對(duì)終的應(yīng)用產(chǎn)品的性能產(chǎn)生重大影響。因此,測(cè)試在半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程中具有非常重要的地位,貫穿于半導(dǎo)體產(chǎn)品的設(shè)計(jì)、制造、包裝和應(yīng)用的整個(gè)過(guò)程中。
在眾多探針技術(shù)中,五孔探針是一種應(yīng)用于流體動(dòng)力學(xué)領(lǐng)域,特別是對(duì)于復(fù)雜流場(chǎng)特性測(cè)量的工具。它的設(shè)計(jì)基于伯努利原理和流體連續(xù)性方程,主要用于測(cè)量氣流的速度、壓力分布以及流場(chǎng)的湍流特性。五孔探針因其結(jié)構(gòu)包含五個(gè)開(kāi)孔而得名,這五個(gè)孔一般按照特定的幾何布局排列。
探針的要求
(1)質(zhì)量問(wèn)題:在使用過(guò)程中應(yīng)定期進(jìn)行質(zhì)量檢查。探針的質(zhì)量差會(huì)導(dǎo)致測(cè)量誤差增大,嚴(yán)重時(shí)可能會(huì)損壞實(shí)驗(yàn)設(shè)備。
(2)加工工藝問(wèn)題:在探針的制作過(guò)程中,要探針的形狀、尺寸的與穩(wěn)定。
(3)使用注意事項(xiàng):避免在測(cè)量過(guò)程中引入空氣,勿使用有陷進(jìn)、連續(xù)的探針以免擾動(dòng)測(cè)量,對(duì)于使用多個(gè)探針進(jìn)行測(cè)量的情況要確保探針之間的長(zhǎng)度和間距足夠。
(4)存儲(chǔ)和保養(yǎng)問(wèn)題:盡可能地存儲(chǔ)環(huán)境無(wú)除塵、避光性好;探針表面不能有刮傷等損壞,使用前應(yīng)清洗干凈且消毒處理。