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為了避免下驅動裝置4受到外界震動的影響,進而保下驅動裝置4的工作精度,所述底座1和下驅動裝置4之間設置有減震裝置,所述下驅動裝置4的底端設置有承載板41,所述承載板41通過少兩個螺釘16固定連接在底座1上,所訴減震裝置包括與螺釘16分別一一對應的下減震橡膠墊171和上減震橡膠墊181,所述下減震橡膠墊171套裝在螺釘16的下端部,所述下減震橡膠墊171的底部和底座1抵接,所述下減震橡膠墊171的頂部和承載板41抵接,以便于通過下橡膠減震171墊吸收從外界傳來的震動,以避免下驅動裝置4受到外界震動的影響,所述上減震橡膠墊172套裝在螺釘16的上端部,且所述上減震橡膠墊172與承載板41的上端面壓接,以避免螺釘16的震動影響到承載板41。
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并在副爐室3移取晶位的過程中,通過電動接晶托防止晶棒掉落,安全;當不再繼續加料時,通過化料器升降驅動裝置將外部化料器7提升不干涉主爐室坩堝21上升的位置,并通過化料器旋臂18的旋轉旋開外部化料器7,進而方便拆爐和清理;本發明通過減震裝置對下驅動裝置進行減震,使拉晶時下驅動裝置不受外界震動影響,進而保晶棒質量;本發明的升降絲桿91、旋轉絲桿112和絲杠192的外側分別套裝有防塵罩,進而防止潤滑油脂揮發污染原料。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,單晶硅生長爐的原理簡介/我有更好的/,把高純度的多晶硅原料放入高純石英坩堝,通過石墨加熱器產生的高溫將其熔化;然后,對熔化的硅液稍做降溫,使之產生一定的過冷度,再用一根固定在籽晶軸上的硅單晶體(稱作籽晶)插入熔體表面,待籽晶與熔體熔和后,慢慢向上拉籽晶,晶體便會在籽晶下端生長;接著,控制籽晶生長出一段長為100mm左右、直徑為3~5mm的細頸,用于消除高溫溶液對籽晶的強烈熱沖擊而產生的原子排列的位錯,這個過程是引晶;隨后,放大晶體直徑到工藝要求的大小,一般為75~300mm,這個過程稱為放肩;接著,突然提高拉速進行轉肩操作,