石墨舟的維護主要包括以下幾個方面：

清潔和烘干：石墨舟在使用過程中會積累污垢和殘留物，因此需要定期清潔和烘干。清潔石墨舟時，可以使用無腐蝕性的清潔劑，并使用軟毛刷或無絨布進行擦拭。烘干石墨舟時，應將其放置在100-120攝氏度的烘箱中烘干10-12小時。
檢查和維修：石墨舟在使用過程中可能會發生損壞，因此需要定期檢查。檢查時，應檢查石墨舟的表面是否有裂紋、磨損或其他損壞。如果發現損壞，應及時維修或更換。
存儲：石墨舟在使用完畢后，應存放在干燥、清潔的環境中。存儲時，應將石墨舟放置在水平表面上，并用防塵罩進行保護。

石墨舟是用于半導體制造的一種重要的工具。它由石墨材料制成，用于在各種工藝中承載和傳輸硅片。石墨舟的維護對于確保其正常運行和延長使用壽命至關重要。

真空干燥箱的優點包括：干燥速度快、；可降低樣品在高溫下變質的可能性；可避免空氣中的氧氣對樣品產生氧化作用；可減少能源消耗，因為可以在較低的溫度下實現干燥。然而，真空干燥箱也存在一些不足之處，例如：需要定期維護和保養；對樣品形狀和大小有一定限制；不能干燥所有類型的樣品。