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除塵器內的空間由圓柱容器經上、下蓋密封形成，整個空間分成兩大區域：除塵區域和排氣區域。含塵氣流由切線進氣口進入除塵區域，沿外壁由下而上螺旋形旋轉運動。氣流作旋轉運動時，塵粒在慣性離心力的推動下，要向圓柱容器內壁移動。到達內壁的塵粒在氣流和重力的共同作用下，沿壁面落到容器底部。這種情況，離心力是除塵器的主要作用力，塵粒與氣流分離界面是圓柱容器的內壁。還有，圓柱容器內設置內外兩層金屬網，內層金屬網纏繞于內側的6 根金屬桿上。外層金屬網纏繞于外側的8 根金屬桿上。這14 根金屬桿被固定在上盤和盤上。它們固聯于圓柱容器上法蘭。圓柱容器設置的排氣筒是排氣區域。
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工作原理如下：取出晶棒后，將硅料加入加料坩堝62，蓋上外部加料器6的上蓋63，將外部加料器6真空抽到合適壓力值時打開旋閥64，硅料落入外部化料器7中并在外部化料器7中被熔化，熔化后的硅料流入主爐室坩堝21，當外部化料器7中的硅料加完后，再關閉旋閥64，把外部加料器6充常壓，打開外部加料器6的上蓋63繼續加料，如此循環，進而完成外部加料、化料，本發明可實現連續拉晶，選用合適的主爐室坩堝21可以實現連續拉制五六根晶棒，可大幅減少冷卻、拆爐、裝爐的時間，進而提高生產效率；本發明可通過加料器升降驅動裝置和加料器旋轉驅動裝置將外部加料器6移出工作位并旋開，進而方便拆爐和清理，本發明的加料器升降驅動裝置和加料器旋轉驅動裝置配上工裝還可以吊裝主爐室2的零部件；本發明可通過副爐室升降驅動裝置12和副爐室旋轉驅動裝置13驅動副爐室3移動，分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，單晶爐熱場的設計與仿真單晶直徑在生長過程中可受到溫度，提拉速度與轉速，坩堝跟蹤速度與轉速，保護氣體的流速等因素的影響。其中溫度主要決定能否成晶，而速度將直接影響到晶體的內在質量，而這種影響卻只能在單晶拉出后通過檢測才能獲知。溫度分布合適的熱場，不僅單晶生長順利，而且品質較高；如果熱場的溫度分布不是很合理,生長單晶的過程中容易產生各種缺陷,影響質量，情況嚴重的出現變晶現象生長不出來單晶。
