臭氧殺菌機理以氧化作用破壞微生物膜的結構實現殺菌作用。臭氧作用于細胞膜，使膜構成成份受損傷而導致新陳代謝障礙，臭氧繼續滲透穿透膜而破壞膜內脂蛋白和脂多糖，改變細胞的通透性，導致細胞溶解、死亡。而臭氧滅活病毒則認為氧化作用直接破壞其核糖核酸RNA或脫氧核糖核酸DNA物質而完成的。

臭氧與消毒劑比較： 臭氧作為廣譜無殘余污染的氣體消毒劑比食品行業常用的消毒劑（如過氧乙酸、高錳酸鉀、甲醛、二氧化硫）等具有特殊的性臭氧會自行分解為氧氣，不產生殘余污染，消毒后不需通風換氣。常規消毒均需通風換氣或化學中和，麻煩而又降低消毒效果。

生活中，衣物、鞋襪的臭味，也可以用通過臭氧除臭，衣服漂洗結束后，可以用臭氧水浸泡幾分鐘，去除衣物殘留的異味。如果在洗衣服過程中使用臭氧，臭氧會分解洗衣液(洗衣服)，影響洗滌效果，所以建議在漂洗結束后再用臭氧水浸泡。相關閱讀：小型臭氧發生器在我們日常生活中的應用非常廣

　　家用除臭，通常能除去生活環境中的煙味、油煙味、其他食物飲料散發的味道也能去除。通常，采用5克左右的臭氧發生器，工作20分鐘，能100平米的家居環境除臭的效果。家居除臭主要的場所在廁所、廚房、客廳(飯廳)。因為臭氧輸入氣體，可以用風扇輕松將臭氧送到除臭區域。整體來說，臭氧的需要量較小，效果快，除臭時短。

　　臭氧機除臭的強大，主要體現在廢水、廢氣處理中。例如污水處理，廢氣處理，都離不開臭氧。污水、廢氣要達到標準，肯定是不能有異味的。惡臭難聞的水，達不到排放標準的。臭氧在廢水、廢水處理中，除臭只是其中的功能之一。