1、定位精度高

使用直線導軌作為線性導引時，由于直線導軌的摩擦方式為滾動摩擦，不僅摩擦系數降低至滑動導引的1/50，動摩擦力與靜摩擦力的差距亦變得很小，因此當床臺運動時，不會有打滑的現象發生，可達到精密級（um）級定為精度。

2、磨耗少能長時間維持精度

傳統的滑動引導，無可避免的會因油膜逆流作用造成平臺運動精度不良，且因運動時潤滑不充份，導致運行軌道接觸面的磨損，嚴重影響精度，而滾動導引的磨耗非常小，故機臺能長時間維持精度。

3、使用高速度運動且大幅降低機臺所需驅動馬力

由于直線導軌移動時摩擦力非常小，只需較小動力便能讓床臺運行，尤其是在床臺的工作方式為經常性往返運動時，更能明顯降低機臺點力損耗量，且因其摩擦產生的熱度較小，可適用于高速運行。

4、可同時承受上下左右的負荷