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德國CGS GmbH/德國Crystal Growing Systems (CGS) GmbH成立于1999年8月，其前身為德國萊寶晶體生長部。目前其產品已經覆蓋生產6”到16”單晶硅棒的設備，設備主要有EKZ2700、 EKZ 3500/200、EKZ 3000/300，EKZ 3000/400型，投料量分別為60kg、150kg、300kg，400kg。EKZ-2700 EKZ3500/200 EKZ3000/300 EKZ3000/40 德國CGS單晶爐圖（來自產品樣本）近年來，國產單晶硅生長爐設備行業發展迅速，已經占據絕大部分的份額。，國內單晶硅生長爐設備領域技術進步明顯，逐步解決了單晶硅生長爐的關鍵技術難題，可以滿足太陽能光伏晶體硅制備的需求。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，DL-78型單晶爐的熱場和減壓工藝\1前言集成電路生產的發展一方面不斷縮小元件尺寸，以提高集成度；另一方面不斷擴大硅片直徑以減少芯片的離故度和降低成本。相應地，作為集成電路基礎材料的硅單晶生產也在不斷地提高其技術質量指標和增大單晶錠的直徑和長度，以滿足電路的要求和降低自身的生產成本。在國外市場上，硅晶體直徑大致每4～5年增長1時（25．4mm），相應地，生產投料重也由1公斤逐漸發展為3～5公斤、8～12公斤、15～劉公斤和朋～6O公廳等幾個等級。在這發展中，有兩個條件是相輔相成、共同進步的，這是單晶爐和拉晶工藝。