浙江杭州5噸電子超純水設備廠家的工藝簡介，基于行業標準和技術特點整理：

浙江杭州5噸電子超純水設備廠家
一、核心工藝路線
電子超純水制備工藝主要分為三類，5噸規模設備以反滲透（RO）+電去離子（EDI）組合工藝為主流，兼顧環保、穩定性和自動化需求：

1. 傳統離子交換工藝（較少采用）
流程：
原水 → 多介質過濾 → 活性炭過濾 → 精密過濾 → 陽床 → 陰床 → 混床 → 超純水箱 → 后置保安過濾器

特點：

初投資低，但需頻繁酸堿再生，運維成本高且污染環境14。

適用于小型實驗室或低頻次用水場景。

2. 反滲透（RO）+離子交換組合工藝
流程：
原水 → 預處理 → RO系統 → 混床 → 超純水箱 → 后置過濾 → 用水點

特點：

RO降低混床負荷，減少酸堿用量，但仍有部分化學再生需求14。

適用于中等規模電子工廠，平衡成本與環保性。

3. 反滲透（RO）+電去離子（EDI）工藝（主流方案）
流程：
原水 → 預處理 → RO系統 → EDI模塊 → 超純水箱 → UV殺菌 → 后置保安過濾器 → 用水點

核心優勢：

環保性：無需化學再生，EDI通過電場連續去除離子，無二次污染24。

穩定性：RO脫鹽率≥99%，EDI產水電阻率≥15MΩ·cm，滿足半導體、光伏等高標準需求35。

自動化：PLC控制系統實時監測電導率、TOC、壓力等參數，實現無人值守14。

二、關鍵工藝環節
預處理系統

多介質過濾器：去除懸浮物、膠體、鐵銹（精度≥5μm）14。

活性炭過濾器：吸附余氯、有機物，保護RO膜性能15。

軟化器（可選）：降低鈣鎂離子濃度，防止RO膜結垢（原水硬度高時）35。

精密過濾器：5μm濾芯，進一步保護RO膜14。

反滲透（RO）系統

高壓泵：316L不銹鋼材質，提供進水壓力（1.0-1.5MPa）14。

RO膜組：陶氏BW30-400IG DRY或同類膜，脫鹽率≥99%，產水5噸/小時35。

回收率：60-75%（根據原水TDS調整）4。

EDI精處理單元

EDI模塊：電滲析與離子交換樹脂結合，連續去除殘余離子，產水電阻率≥15MΩ·cm24。

拋光混床（可選）：核級樹脂進一步除鹽，電阻率提升至≥18.2MΩ·cm（超純需求）35。

后處理與儲存

UV殺菌器：254nm波長滅活微生物，防止儲水箱二次污染35。

終端過濾：0.22μm微孔濾膜，確保顆粒物＜1ppt4。

儲水箱：316L不銹鋼材質，氮氣保護或循環系統，容量≥5噸14。

三、技術參數與合規性
參數 規格要求
出水水質 電阻率≥15MΩ·cm（EDI出水），≥18.2MΩ·cm（加混床）；TOC＜5ppb（可選）35
微生物控制 ＜1CFU/mL（UV+氮氣保護）
顆粒物 ＜1ppt（＞0.22μm）
材質與標準 預處理階段：UPVC/316L不銹鋼；后處理：316L不銹鋼/PVDF，符合SEMI F57、ISO等45
四、運維與成本
維護要點：

預處理：每3-6個月更換濾芯，定期清洗RO膜（酸/堿洗）45。

EDI模塊：檢查電流、電壓，防止結垢或通道堵塞25。

運行成本：

能耗：約2-3元/噸（電費+泵耗）4。

耗材：RO膜壽命3-5年，EDI模塊5-8年，混床樹脂1-2年更換