“氪氣雜質(zhì)檢測”通常是指在高純度氪氣（Kr）中檢測其含有的雜質(zhì)氣體，氮?dú)猓∟?）、氧氣（O?）、氬氣（Ar）、二氧化碳（CO?）、氫氣（H?）、水蒸氣等。這種檢測在工業(yè)、科研和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域非常重要，因?yàn)榧词故俏⒘康碾s質(zhì)也影響產(chǎn)品的性能或質(zhì)量。 以下是關(guān)于氪氣雜質(zhì)檢測的一些常見信息和方法： 一、氪氣的用途 氪氣是一種稀有氣體，常用于： 半導(dǎo)體制造中的離子注入 燈泡填充（如氪燈） 激光器氣體 核反應(yīng)堆中的中子吸收材料 測量設(shè)備 由于這些應(yīng)用對(duì)氣體純度要求，因此需要進(jìn)行嚴(yán)格的雜質(zhì)檢測。 二、常見的氪氣雜質(zhì) 在高純氪氣中存在的雜質(zhì)包括： | 雜質(zhì)氣體 | 含量范圍 | 影響 | | | | | | N? | ppm ~ ppb | 影響光學(xué)性質(zhì) | | O? | ppm ~ ppb | 引起氧化反應(yīng) | | Ar | ppm ~ ppb | 干擾激光性能 | | CO? | ppb級(jí) | 腐蝕設(shè)備 | | H? | ppb級(jí) | 增加導(dǎo)電性 | | 水蒸氣 | ppm級(jí) | 引起腐蝕和結(jié)冰 | 三、氪氣雜質(zhì)檢測方法

1. 氣相色譜法（GC） 使用的 稀有氣體分析儀 或 氣相色譜儀 （GC），配備熱導(dǎo)檢測器（TCD）或質(zhì)譜檢測器（MSD）。 可以分離并定量檢測多種氣體雜質(zhì)。

2. 2. 質(zhì)譜分析（MS） 結(jié)合氣相色譜使用，可 識(shí)別和定量各種雜質(zhì)氣體。 特別適用于痕量雜質(zhì)檢測（ppb級(jí)別）。

3. 3. 紅外光譜法（IR） 適用于檢測CO?、H?O等具有特征吸收峰的氣體。 適合在線監(jiān)測或連續(xù)檢測。

4. 4. 化學(xué)發(fā)光法 用于檢測O?、NOx等特定氣體。 在某些工業(yè)應(yīng)用中也有使用。