美國吉時利KEITHLEY參數(shù)分析儀4200-SCS研究應(yīng)用領(lǐng)域:
半導(dǎo)體材料和器件的研發(fā)—傳統(tǒng)的半導(dǎo)體和微電子
器件和工藝的參數(shù)監(jiān)控—半導(dǎo)體工藝線,生產(chǎn)
器件的建模(Modeling)—半導(dǎo)體器件的設(shè)計,集成電路的設(shè)計
可靠性和壽命測試—半導(dǎo)體器件可靠性研究
高功率MOSFET,BJT和III-V族器件(GaN,GaAs)的特性分析
納米器件研究;
光電子器件的研究(LED,OLED等);
非易揮發(fā)性存儲器測試—Flash閃存,相變存儲器(PRAM),鐵電存儲器(FeRAM),阻變存儲器(RRAM)等;
深圳市中瑞儀科電子有限公司
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有機半導(dǎo)體特性分析
太陽能電池及光伏電池特性分析
確定樣品的電阻率和Hall載流子濃度
氧化層厚度、柵面積、串聯(lián)電阻、平帶電容、電壓、開啟電壓、體摻雜、有效氧化層電荷密度、可動電荷、金屬-半導(dǎo)體功函數(shù)、德拜長度、體電勢等。
標準C-V掃描:普通MOSFET,二極管和電容器;
MOScap:測量MOS電容器上的C-V,提取參數(shù)包括氧化層電容,氧化層厚度,摻雜濃度,耗盡深度,德拜長度,平帶電容,平帶電壓,體電勢,閾值電壓,金屬半導(dǎo)體功函數(shù),有效氧化層電荷;
MOSFET:對一個MOSFET器件進行一個C-V掃描。提取參數(shù)包括:氧化層厚度,氧化層電容,平帶電容,平帶電壓,閾值電壓,摻雜濃度與耗盡深度的函數(shù)關(guān)系;
壽命:確定產(chǎn)生速度并進行壽命測試(Zerbst圖);
可動離子:使用BTS方法確定并提取平帶電壓參數(shù)確定可動電荷。包括對Hot Chuck熱吸盤的控制。在室溫下測試樣品,然后加熱后測試,然后再恢復(fù)至室溫下以確定平帶漂移電壓,從而確定可動電荷;
電容:在金屬-絕緣-金屬(MIM)電容器上進行C-V掃描和C-f掃描,并計算出標準偏差;
PN結(jié):測量P-N結(jié)或肖特及二極管的電容與其片置電壓的函數(shù)關(guān)系;
光伏電池:測量一個發(fā)光太陽電池的正向和反向DC特性,提取參數(shù),cui大功率,cui大電流,cui大電壓,短路電流,開路電壓,效率。同時執(zhí)行C-V和C-f掃描特性;