好的。根據《電子工業用氣體 六氟化硫》GB/T 18867—2014 的規定，工業六氟化硫的雜質檢測要求主要包括以下幾個方面：
純度檢測 ： 六氟化硫的純度應不低于99.8%（體積分數）。 檢測方法可以采用氣相色譜法或其他等效方法。
2. 雜質氣體含量 ： 允許存在的主要雜質包括空氣、水分、四氟化碳（CF?）、一氧化硫（SO）、 （SO?）、 （H?S）、氟化氫（HF）等。 各種雜質氣體的含量應符合以下限值要求： 空氣含量 ≤ 0.001% 水分含量 ≤ 0.0005% 四氟化碳（CF?）含量 ≤ 0.001% 一氧化硫（SO）含量 ≤ 0.0001% （SO?）含量 ≤ 0.0005% （H?S）含量 ≤ 0.0001% 氟化氫（HF）含量 ≤ 0.0001%
3. 檢測方法 ： 雜質氣體的檢測方法通常采用氣相色譜法或紅外光譜法等。 純度和水分含量的檢測可以通過露點儀或電解法進行。 這些要求確保了六氟化硫氣體在電子工業中的應用性能和安全性。
