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廣州潽拓光電科技有限公司維修德國Pfeiffer 普發 HiPace 80普發渦輪分子泵，進氣法蘭口DN 40/DN 63/DN 70（KF/CF) ，出氣法蘭口DN 16 ISO-KF / G，抽速可達到67 L/s，轉速為90000rpm，Pfeiffer HiPace 80普發分子泵對應的分子泵電源：Pfeiffer TPS110不帶顯示屏，提供維修及置換服務。
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