武漢射頻測試探針臺真空高低溫探針臺是用于射頻微波器件、電路和系統測試的關鍵設備，可用于射頻芯片、微波器件等的封裝測試，需要具備良好的射頻屏蔽性能和高頻信號傳輸特性，以減少信號干擾和損耗。

武漢射頻測試探針臺組成部分

探針系統：

射頻探針：本質為適配器，將芯片測量接口轉為同軸或波導端口，用于實現芯片測量端口與射頻測量儀器端口（同軸或波導）之間的適配。

探針夾具及電纜組件：探針夾具用于夾持探針，并將探針連接至測量儀器；電纜組件用于轉接、延展探針夾具上的電纜，以實現信號傳輸。



定位與對準系統：

具備的機械結構和控制系統，可實現探針在微米甚至納米尺度上的定位，一般定位精度可達微米級，探針能準確接觸芯片測試點。

通常配備顯微鏡（如體式顯微鏡等）或 CCD 圖像相機，輔助操作人員觀察芯片和探針位置，進行手動或自動對準操作。

載物臺：用于放置被測的半導體器件或晶圓，需有良好的平面度和穩定性。部分載物臺可具備特殊功能，如抽真空固定器件，或能適應高低溫環境等。



電氣連接與測量系統：通過探針與被測器件連接后，與外部的射頻測量儀器相連，實現對器件射頻參數的測量。測量系統需具備低噪聲、等特性，以確保射頻信號測量的準確性，并可能配備信號處理電路，對采集到的射頻信號進行放大、濾波、數字化等處理。





控制系統：有手動、半自動、全自動等控制方式。手動控制通過人工操作實現探針和載物臺移動；半自動部分操作自動化，關鍵步驟可能需人工輔助；全自動則整個測試過程（上料、定位、對準、測試、下料等）可自動完成，通常通過計算機軟件編程控制。

武漢射頻測試探針臺功能特點

信號傳輸與測量：利用傳輸線理論（如微帶線或同軸電纜結構）傳輸射頻信號，能有效減少信號反射和失真，保持信號穩定性和準確性，可測量射頻器件的各項參數，如 S 參數等。

阻抗匹配設計：通常設計成與被測電路阻抗匹配的結構，以減小反射和失真，提高信號傳輸效率，降低對被測電路的影響。

定位能力：可在微米甚至納米尺度上定位探針，并能提供穩定的接觸壓力，避免損傷芯片的同時確保測試信號準確傳遞。

多功能測試：現代射頻測試探針臺通常具備多種測試功能，包括直流測試、交流測試和射頻測試等，能滿足不同芯片測試需求。

可擴展性：部分可根據需求添加功能模塊，如高低溫模塊、真空模塊等，以適應不同測試環境和要求。

應用場景

通信領域：用于 5G、6G 等通信模塊的射頻性能驗證，如基站芯片、手機射頻芯片等的測試。

雷達領域：可對毫米波雷達芯片等進行射頻性能測試。

半導體研發與生產：在半導體芯片研發過程中，用于驗證芯片的射頻設計性能；在生產線上，對晶圓或封裝好的芯片進行批量射頻參數測試，篩選不良品。

科研教學：高校和科研機構用于半導體器件和晶圓的射頻、微波測試研究，以及相關教學實驗等。