在工業生產中，氦氣（He）是一種非常重要的惰性氣體，廣泛應用于航天、核工業、半導體制造等領域。由于氦氣的高純度需求，其雜質含量需要嚴格控制。以下是一些常見的工業氦氣雜質及其檢測方法：
常見氦氣雜質 工業氦氣中的主要雜質包括： 氧氣（O?）和氮氣（N?） ：這些是氦氣中 常見的非惰性氣體雜質。 氫氣（H?） ：來源于生產過程或泄漏。 二氧化碳（CO?） ：通常來源于吸附劑或干燥過程中的殘留物。 碳氫化合物（如甲 CH?） ：來自生產或儲存設備。 水分（H?O） ：導致管道堵塞或腐蝕。 其他微量元素 ：如氬氣（Ar）、氖氣（Ne）等。
2. 氦氣雜質檢測方法 （1） 色譜分析法 原理 ：利用氣相色譜（GC）或液相色譜（HPLC）分離不同氣體成分，并通過檢測器（如熱導檢測器TCD或質譜檢測器MS）定量分析。 優點 ：靈敏度高，能夠檢測ppm級甚至更低濃度的雜質。 應用 ：適用于檢測氧氣、氮氣、氫氣、二氧化碳、碳氫化合物等雜質。 （2） 紅外光譜法 原理 ：利用氣體分子對特定波長紅外光的吸收特性進行定性和定量分析。 優點 ：適合檢測二氧化碳、水分等含氧或含碳氣體。 應用 ：特別適用于檢測二氧化碳和水分。 （3） 質譜分析法 原理 ：利用質譜儀檢測氣體分子的質量/電荷比（m/z），從而識別和量化雜質。 優點 ：高靈敏度和高分辨率，可以檢測多種雜質。 應用 ：適用于復雜混合氣體的全面分析。 （4） 露點測量法 原理 ：通過測量氣體中的水分含量來間接評估氦氣的純度。 優點 ：操作簡單，適合快速檢測水分。 應用 ：主要用于檢測水分含量。 （5） 光學發射光譜法 原理 ：利用氣體放電產生的光譜特征識別雜質元素。 優點 ：適用于檢測微量元素。 應用 ：適用于檢測氬氣、氖氣等稀有氣體雜質。 （6） 激光吸收光譜法 原理 ：利用激光在特定波長下的吸收特性檢測氣體成分。 優點 ：高靈敏度和實時監測能力。 應用 ：適用于在線監測氧氣、水分等雜質。
