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由于 該爐的排氣口 13與氣流導向裝置20的各通氣孔2-3相連通，整個爐內的 一氧化硅與的混合氣體(包括坩堝支持器14下方的混合氣體)能通暢 地排出爐外，整個爐內不存在排氣死角，既有效地防止了一氧化硅氣體對 加熱器7和坩堝支持器14等石墨器件的腐蝕，還可有效防止雜質粉塵吸附 在這些石墨器件上，從而確保了該爐的使用壽命。氣流導向裝置20的一對 通氣孔2-3與該爐的一對排氣口 13相對設置，縮短了排氣管路的長度，利 于提高排氣效率。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，提拉頭：主要由安裝盤 減速機 籽晶腔 劃線環 電機 磁流體 籽晶稱重頭 軟波紋管等其他部件組成\副室：主要是副室筒以及上下法蘭組成\ 爐蓋：副室連接法蘭，翻板閥，觀察窗 抽真空管道 組成\爐筒：包括取光孔\下爐筒：包括抽真空管道\底座機架：全鑄鐵機架和底座\坩堝下傳動裝置：主要由磁流體 電機 坩堝支撐軸 減速機 軟波紋管 立柱 上下傳動支撐架 導軌 等部件組成\分水器已經水路布置：包括分水器，進水水管，若干膠管 水管卡套等\管道布置：質量流量計 3根以上的柔性管 不銹鋼管 3個壓力探測器 高密封性卡套 等部件\ 真空泵以及真空除塵裝置：油壓真空泵 水環真空泵 過濾器 真空管道 硬波紋管等\電源以及電控柜：電源柜 濾波柜 控制柜 以及連接線