廈門光刻膠  國產(chǎn)光刻膠

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• CJ3110屬于?PMMA電子束正性光刻膠?，通過電子束曝光引發(fā)聚合物主鏈斷裂，使曝光區(qū)域溶于顯影液，實(shí)現(xiàn)高分辨率圖形轉(zhuǎn)移。適用于納米級(jí)直寫工藝（如T-gate制造）

• ?分辨率?：PMMA電子束光刻膠分辨率可達(dá)?10nm以下?，其中950系列（如PMMA 950）專為高分辨率應(yīng)用優(yōu)化，495系列則適用于常規(guī)需求

• ?敏感度?：典型電子束曝光劑量范圍為?50-150mJ/cm2?，具體需根據(jù)分子量和配方調(diào)整

• ?粘度?：粘度通常為?1-20cps?（厘泊），低粘度設(shè)計(jì)便于旋涂成膜，膜厚可通過轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)（每增加1000rpm減少約30%）

• ?耐溫性?：可耐受?120-150℃后烘溫度?，確保圖形穩(wěn)定性

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