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而邊壁的邊界層又是主要影響因素。另一機理是高濃度塵流中粉塵顆粒的擴散與凝聚這對矛盾中凝聚成為主要矛盾方面。粉塵顆粒可以彼此凝聚在一起。又可能與實質界面凝聚而吸附在其上面。通過這兩個機理,后粉塵從氣體中分離出來。 排塵過程排塵過程主要是經分離界面以后已分離出來的粉塵排離排塵口,不同的除塵器排塵的作用力也不同。有些除塵器不需要再加額外動力能利用原捕集分離的外力把粉塵排離除塵器。而另一些除塵器則需要加額外的動力才能把已分離的粉塵排出。 排氣過程已棄塵后相對凈化的氣流從排氣口排出的過程稱為排氣過程。上述基本知識是除塵器、過濾器設計制造的理論基礎。下面具體討論單晶爐領域除塵技術。
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生長Φ8“直拉硅單晶Φ8”熱場研究及數值模擬\隨著科學的飛速發展,出于提高生產率、降低成本的目的,器件廠家隨著生產規模的擴大逐步要求增大硅片直徑。硅單晶直徑增大后,大熔硅體積、嚴重的熱對流使單晶氧含量增大。晶體直徑的增大也使結晶潛熱的散發更加困難,結晶速率難以提高。為了解決這兩個問題,本文在國產TDR-80單晶爐的基礎上,對熱場進行了局部改造,施加了新型加強復合式熱屏。有限元法是一種能求得許多工程問題近似解的數值分析方法。由于拉單晶過程中投料量較大,爐體結構復雜、造價昂貴,所以拉晶實驗成本太高。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,進一步為了防止在副爐室移動到取晶位的過程中,因晶棒掉落而出現事故,連續拉晶單晶爐還包括在副爐室移動到取晶位的過程中用于承接晶棒的電動接晶托,所述電動接晶托包括提升桿、用于承接晶棒的托板、電動推桿、接晶托電機和固定管,所述電動推桿連接在副爐室旋臂上,所述提升桿連接在電動推桿的推桿上,以便通過推桿的升降帶動提升桿升降,所述接晶托電機連接在提升桿上,所述托板連接在接晶托電機的輸出軸上,以便通過接晶托電機驅動托板旋轉,所述固定管套裝在提升桿和電動推桿的推桿的外側,所述固定管連接在副爐室旋臂上。