按發生器的高壓電頻率劃分，有工頻（50-60Hz）、中頻（400-1000Hz）和高頻（>1000Hz）三種。工頻發生器由于體積大、功耗高等缺點，已基本退出市場。中、高頻發生器具有體積小、功耗低、臭氧產量大等優點，是現在常用的產品。
按介電材料劃分，常見的有石英管（玻璃的一種）、陶瓷板、陶瓷管、玻璃管和搪瓷管等幾種類型。使用各類介電材料制造的臭氧發生器市場上均有銷售，其性能各有不同，玻璃介電體成本低性能穩是人工制造臭氧使用早的材料之一，但機械強度差。陶瓷和玻璃類似但陶瓷不宜加工特別在大型臭氧機中使用受到限制。搪瓷是一種新型介電材料，介質和電極于一體機械強度高、可精密加工精度較高，在大中型臭氧發生器中廣泛使用，但制造成本較高。
氣源
臭氧發生器中廣泛使用，但制造成本較高。按臭氧發生器結構劃分，有間隙放電式（DBD）和開放式兩種。間隙放電式的結構特點是臭氧在內外電極區間的間隙內產生臭氧，臭氧能夠集中收集輸出使用其濃度較高，如用于水處理。開放式發生器的電極是裸露在空氣中的，所產生的臭氧直接擴散到空氣中，因臭氧濃度較低通常只用于較小空間的空氣滅菌或某些小型物品表面消毒。間隙放電式發生器可代替開放式發生器使用。但間隙放電式臭氧發生器成本遠開放式。
注意事項
1、將設備安裝在干燥寬敞的地方，以便于散熱和維護；
2、確保電、氣、水進出氣管線連接正確；
3、使用的線路的容量是符合要求的，以確保消除火災隱患；
4、高壓危險，不要用水沖洗設備；
5、不能置于變電所附近；
6、遠離高壓線；
7、地面不宜潮濕；
8、設備距四周應有一定的空間（≥300mm)。
臭氧發生器應用于水處理工程等場合時，有很多因素可能影響發生器的效率及其可靠性，因此在設計臭氧發生器應用系統時注意下列問題：
⑴發生器原料氣體不得含烴類、腐蝕性氣體和任何其他能在氧/臭氧/電暈環境內發生反應，從而對設備安全造成危害或損壞的物質。
眾所周知，爆炸的三要素是燃料、氧化劑和火種，而臭氧發生器的電暈環境中已存在兩項，即氧化劑和火種。因此防止在原料氣體中含有烴類燃料物質；如果有可能存在烴類物質，安裝烴類分析儀，以便當烴類濃度接近爆炸下限（LEl）的25%時切斷電源。
碳氟化合物，如特氟隆或冷卻劑都可在電暈中分解形成氟，后者能侵蝕玻璃介電材料，可加速介電體損壞。圍繞在電暈室外面的循環冷卻流體有可能通過密封泄漏并進入電暈空間，結果在介電體表面形成一層漆類，涂層。當發生這種情況時，由于這種涂層降低臭氧生產的效率，介電體定期予以清洗。
另外，原料氣還應濾除5μm左右的顆粒，以防止小的干燥劑粉末或其他微粒進入發生器電暈區。以免影響電暈效率。
⑵供氣壓力不能無控制地改變，由于氣壓影響電暈功率誘導和跨越介電體所加電壓，大范圍壓力變化會使發生器運行不可靠。超出電暈功率范圍可造成熔斷器或自動斷電器斷開。超出外加電壓峰值還能造成介電體過早失效。
⑶臭氧發生器系統設計時，能防止大量水進入到發生器內。
水封供氣壓縮機用的浮閥或空氣干燥器上的凝結水閥阻塞卡住，都會造成發生器電暈室內灌水。電暈室內大量進水可導致電暈集中、高電流密度和局部電介體發熱，造成介電體過早失效。即使檢測裝置在水進入電暈室之前切斷電暈電源，水中所含雜質也會沉積在元件表面上，這些雜質在繼續運行之前予以清除。運行故障或操作錯誤都能迫使處理出水從臭氧接觸池到流至發生器內，至少會造成電暈元件污染或者介電體損壞。此外，系統設計和操作規程阻止易燃的腐蝕性氣體及從臭氧接觸池回流的水蒸氣進入發生器內。
⑷冷卻水的水質要好，防止結垢，以免影響發生器的散熱效果。
二對水冷發生器采說，為使傳熱表面的結垢少，冷卻水的水質十分重要。結垢會使傳熱效率降低，從而減少臭氧產量，增加維護費用。在技術上自來水是被選擇的冷卻劑，不過，對大型工業用發生器所需要的耗水量來說，使用自來水經濟上毫無吸引力，也許只有發生系統用在水處理廠的情況除外。與自來水水質相反，一般處理后的污水作為冷卻水，效果不是很好，因為它容易導致結垢。如果的水或其他流體用在密封的十次冷卻回路中，末級熱交換器又是設計得少結垢；且便于清洗，而且污水出水還可以作為末級散熱使用。為了水費和設備維護費之間的佳平衡，系統設計時多數采用冷卻塔水或熱交換器飲用水（無懸浮固體、氯化物<5mg/L）。
⑸對于氣冷卻發生器來說，冷卻空氣無潮氣、雜質、腐蝕性、氣溶膠、油質或導電物質以及可見粉塵。正常情況下，除非處在一個極度多塵的工業大氣環境內，空氣多半是不需要過濾處理的。
臭氧發生器是一種內熱式氣相反應器。因為空氣等類似氣體都是不好的導熱體，電暈放電產生的熱量會使氣體溫度升高。較高的溫度會加速臭氧的逆反應，即臭氧被還原成氧氣，從而降低臭氧產量。因此，冷下也是提高發生器效率的一項措施。由于水和油的吸熱系數遠大于空氣，工業發生器一般采用水冷或油冷發生器。由于空氣冷方便易行，這種形式常用于微型臭氧發生器。 對于采用水冷方式的發生器，應考慮冷卻水的水質，防止冷卻水結垢，以免影響臭氧發生器的散熱效果，從而減少臭氧的輸出，增加維護成本。因此，如果冷卻水質量不好，需要增加板式冷卻器。
