層流式(Laminar):
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形,空氣由覆蓋率之過濾器進入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風,此型式適用于潔凈室等級需定較高之環境使用,一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種:
(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統回風,塵埃隨風向排出室外,-般在下流側污染較嚴重。
優點:構造簡單,運轉后短時間內即可變成穩定
缺點:建造費用比亂流式高,室內空間不易擴充。
(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器夏蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響基它工作區域。
優點:管理容易,運轉開始短時間內即可達穩定狀態,不易為作業狀態或作業人員所影響,
缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。
潔凈室按用途分類
(1)、工業潔凈室
以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內部一般保持正壓狀態。 它適用于精密機械工業、電子工業(半導體、集成電路等)宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業(光盤、膠片、磁帶生產)LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。(2)、生物潔凈室
主要控制有生命微粒(細菌)與無生命微粒(塵埃)對工作對象的污染。又可分為:A、一般生物潔凈室:主要控制微生物(細菌)對象的污染。同時其內部材料要能經受各種滅菌劑侵蝕,內部一般正壓。實質上其內部材料要能經受各種滅菌處理的工業潔凈室。例:制藥工業、醫院(手術室、無菌病房)食品、化妝品、飲料產品生產、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。B、生物學安全潔凈室:主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內部要保持與大氣的負壓。例:細菌學、生物學、潔凈實驗室、物物工程(重組基因、制備)。
1、發塵量
潔凈室內的發塵量,來自設備的可考慮通過局部排風排除,不流入室內;產品,材料等在運送過程中的發塵與人體發塵量相比,一般極小,可忽略;由于金屬半壁(彩鋼夾心板)的應用來自建筑表面的發塵也很少,一般占10%以下,發塵主要來自人,占90%左右。在人的發塵量上,由于服裝材料和樣式的改進,發塵量也不斷減少。
A、材質:棉質發塵量大,以下依次為棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。
B、樣式:大掛式發塵量大,上下分裝型次之,全置型少;
C、活動:動作時的發塵量一般達到靜止時間3-7倍;
D、清洗:用容劑洗滌的發塵量降至用一般水清洗的五分之一,
室內維護結構表面發塵量,以地面為準,大約相應8平方米地面時的表面發塵量與一個靜止的人的發塵量相當。
混合流潔凈室mixedairflowcleanroom
同時分別存在單向流和非單向流兩種氣流流型的潔凈室。
微粒particle
懸浮在空氣中的、固態的或液態的、活性的或非活性的物質,其粒徑(對本標準而言)在10nm~100um的范圍。
氣溶膠aerosol
在空氣中懸浮的微小固體或液體微粒的分散系,
潔凈室
clean room
空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內誘入、產生及滯留的粒子。室內其他有關參數如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。
潔凈區clean zone
空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應減少空間內誘人、產生及滯留粒子。空間內其他有關參數如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。潔凈區可以是開放式或封閉式。
潔凈室或潔凈區應監測或定期進行性能測試,以認證該潔凈室或潔凈區始終符合本規范的要求。
潔凈室或潔凈區性能測試認證工作應由檢測認證單位承擔,并提交檢測報告。
測試和認證工作之前,系統應達到穩定運行。測試和監測儀表應在標定證書有效使用期內。