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單晶硅生長爐原理簡介單晶硅生長爐的特點\單晶硅生長爐是通過直拉法生產單晶硅的制造設備。主要由主機、加熱電源和計算機控制系統三大部分組成。1、主機部分：機架，雙立柱\雙層水冷式結構爐體\水冷式閥座\晶體提升及旋轉機構\坩堝提升及旋轉機構\系統\真空系統及自動爐壓檢測控制\水冷系統及多種安全保障裝置\留有二次加料口2、加熱器電源：全水冷電源裝置采用專利電源或原裝進口IG及超快恢復二極管等功率器件。配以高頻變壓器，構成新一代高頻開關電源。采用移相全橋軟開關（ZVS）及CPU控制技術，提高了電能轉換效率，不需要功率因數補償裝置。3、計算機控制系統：采用PLC和上位工業平板電腦PC機，配備大屏幕觸摸式HMI人機界面、高像素CCD測徑 ADC系統和具有知識產權的“全自動Cz法晶體生長SCADA監控系統”，可實現從抽真空—檢漏—爐壓控制—熔料—穩定—溶接—引晶—放肩—轉肩—等徑—收尾—停爐全過程自動控制。藍寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，由于數值模擬提供了一個近似真實的過程，利用這一技術可以很容易的對任何類型的變化（幾何尺寸、保溫材料、加熱器、環境等）對晶體質量的影響做出容易的判斷。數值仿真是用來獲得廉價的，完整的和細節的結晶過程，以此方法用來預測晶體生長,改善晶體生長技術。舉例來說，對于無經驗人員，可以形象化展示熔體流動的歷史點缺陷和熱應力細節。所以數值仿真是一種達到較高生產率和較好滿足市場對晶體直徑，質量要求的辦法。面向過程的仿真軟件FEMAG為用戶提供了可以深入研究的數值工具,用戶通過有效的計算機模擬可以設計和優化工作流程。通過對單晶爐熱場的仿真計算，優化設計單晶爐的機械結構，在拉晶過程中以仿真結果設定合理的理論拉晶曲線可以在實際生產中是完全可以生長出合格的單晶硅棒。

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離線裝料技術在直拉法硅單晶生產中的應用\引言直拉法(CZ)生產單晶硅是目前制備單晶硅的主要方法。在單晶生產過程中,傳統裝料方法為爐前裝料,即,以人工方式在單晶爐前將固態多晶硅料一塊塊地從爐體外轉移到石英坩堝內,再進行合爐、真空檢漏[1]。整個過程非常緩慢,而且裝料過程中要避免硅料碎屑落入熱場內,裝料時間(清爐結束到合爐)約為2h,操作起來較繁瑣。此外,裝料工工作量不飽和,存在人力浪費現象;在車間內部裝料過程中涉及環節較多,硅料的潔凈度存在質量隱患,不能確保硅棒的產品質量[2]。隨著光伏市場競爭的日趨激烈,追求低成本和率成為每一個企業市場的逐勝之道。