美國BROOKS布魯克斯公司熱式質量流量計是為了滿足有關工藝過程中對測量精度、重復性和控制方面的要求而設計的產品。它與傳統的體積流量儀器截然不同，BROOKS質量流量計通過被測氣體的比熱來測量流量，不受溫度、壓力變化的影響。因此該產品在各種不同的工作環境下均有較高的精度。被測流量可設計成質量或體積單位。