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為了避免下驅動裝置4受到外界震動的影響，進而保下驅動裝置4的工作精度，所述底座1和下驅動裝置4之間設置有減震裝置，所述下驅動裝置4的底端設置有承載板41，所述承載板41通過少兩個螺釘16固定連接在底座1上，所訴減震裝置包括與螺釘16分別一一對應的下減震橡膠墊171和上減震橡膠墊181，所述下減震橡膠墊171套裝在螺釘16的下端部，所述下減震橡膠墊171的底部和底座1抵接，所述下減震橡膠墊171的頂部和承載板41抵接，以便于通過下橡膠減震171墊吸收從外界傳來的震動，以避免下驅動裝置4受到外界震動的影響，所述上減震橡膠墊172套裝在螺釘16的上端部，且所述上減震橡膠墊172與承載板41的上端面壓接，以避免螺釘16的震動影響到承載板41。

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液壓傳動裝置能準確的完成主爐室和副爐室的開啟，爐室、副爐室上升到位后對稱旋出，保主機穩定可靠，并便于機動取出晶體，拆裝熱場系統和清理爐內各部。爐體部件采用316L不銹鋼，法蘭整體鍛造，經過振動消除應力、缺陷檢查和探傷檢驗及氦質樸檢漏儀檢漏。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，加熱元件采用硅碳棒，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，保溫性能好，，拉伸強度高，大大提高了使用壽命；2、可抽真空，并能通入多種保護氣氛（易、強腐蝕性氣體除外）；3、超壓自動泄壓，超溫報警并斷電，漏電保護，操作安全可靠；4、我們的軟件設備通過485或USB接口與計算機互聯，可實現單臺或者多臺電爐遠程控制、實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能；可安裝無紙記錄裝置，實現數據的存儲、輸出；5、可選配通過觸摸屏操作的方式對真空系統、充氣系統、溫控系統進行程序控制，操作簡單方便，無誤。